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技術參數 |
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工作溫度(du)[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
最高淬火(huo)壓力(絕對值) |
12 |
1.9 |
工(gong)作(zuo)真(zhen)空度范圍(wei)[mbar] |
||
低真空 |
10-1 |
10-1 |
高真空 |
10-4 |
10-5 |
有(you)效工作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
最大裝爐量(liang)[kg] |
800 |
1350 |
加熱元件材料 |
石墨 |
鉬 |
隔(ge)熱層 |
特殊石墨氈,可(ke)選擇覆蓋CFC |
鉬(mu)+不銹鋼(gang) |
機(ji)械(xie)泵抽氣(qi)速率[m3/h] |
200 |
300 |
羅茨泵抽氣速率[m3/h] |
500 |
1000 |
機械泵(beng)抽氣速率(可選)[m3/h] |
300 |
300 |
羅茨泵抽氣(qi)速率 (可選(xuan))[m3/h] |
1000 |
1000 |
擴散泵抽氣速(su)率(可選)[L/sec] |
10000 |
10000 |
維持泵抽氣(qi)速率(可選)[m3/h] |
4 |
32 |
控制系統 |
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總連接負荷(he)[kVA] |
190 |
290 |
氣冷風機負荷(he)[kW] |
115 |
75 |
最小水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
最大水(shui)流量(liang)[m3/h] |
40 |
50 |
溫(wen)度均勻性[℃] |
正負(fu)5度 |
正負5度 |