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技術參數 |
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工(gong)作溫(wen)度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
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最(zui)高淬火壓(ya)力(li)(絕(jue)對值) |
12 |
1.9 |
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工作真空度(du)范圍[mbar] |
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低真空(kong) |
10-1 |
10-1 |
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高真空 |
10-4 |
10-5 |
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有效工作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
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最大(da)裝爐量[kg] |
800 |
1350 |
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加熱元件(jian)材料 |
石墨 |
鉬 |
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隔熱層 |
特殊石墨氈，可選(xuan)擇覆蓋CFC |
鉬+不銹鋼(gang) |
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機械泵抽氣速率[m3/h] |
200 |
300 |
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羅茨泵抽氣速(su)率[m3/h] |
500 |
1000 |
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機械泵(beng)抽氣速率(lv)（可(ke)選）[m3/h] |
300 |
300 |
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羅茨泵抽氣速率 （可選(xuan)）[m3/h] |
1000 |
1000 |
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擴散泵(beng)抽氣速率（可選）[L/sec] |
10000 |
10000 |
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維持(chi)泵抽氣速率（可選(xuan)）[m3/h] |
4 |
32 |
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控制(zhi)系(xi)統(tong) |
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總連接(jie)負荷[kVA] |
190 |
290 |
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氣冷風機負荷[kW] |
115 |
75 |
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最小水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
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最(zui)大水流(liu)量(liang)[m3/h] |
40 |
50 |
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溫度均勻(yun)性(xing)[℃] |
正負(fu)5度(du) |
正負5度(du) |