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技術參數 |
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工作(zuo)溫度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
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最高淬火壓力(絕對值) |
12 |
1.9 |
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工作真空度(du)范(fan)圍(wei)[mbar] |
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低真空 |
10-1 |
10-1 |
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高(gao)真空 |
10-4 |
10-5 |
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有(you)效工作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
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最大(da)裝爐量[kg] |
800 |
1350 |
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加熱元件材(cai)料 |
石墨(mo) |
鉬(mu) |
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隔熱層 |
特(te)殊石(shi)墨氈(zhan),可選擇覆蓋(gai)CFC |
鉬+不銹鋼 |
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機械泵(beng)抽氣速率[m3/h] |
200 |
300 |
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羅(luo)茨泵抽氣速(su)率[m3/h] |
500 |
1000 |
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機械(xie)泵(beng)抽氣速率(可選)[m3/h] |
300 |
300 |
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羅茨泵(beng)抽(chou)氣速(su)率 (可(ke)選)[m3/h] |
1000 |
1000 |
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擴散泵(beng)抽氣速(su)率(可(ke)選(xuan))[L/sec] |
10000 |
10000 |
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維持泵抽氣速率(lv)(可選)[m3/h] |
4 |
32 |
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控(kong)制系統(tong) |
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總連接負荷[kVA] |
190 |
290 |
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氣冷風機負(fu)荷[kW] |
115 |
75 |
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最小水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
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最大(da)水流量[m3/h] |
40 |
50 |
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溫度均勻(yun)性[℃] |
正負(fu)5度(du) |
正負5度 |
